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百級無塵烘箱測控系統及安全保護措施

發布時間： 2017-06-21　　點擊次數： 2525次
 　　百級無塵烘箱測控系統及安全保護措施
　　
　　百級無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影
　　
　　后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非
　　
　　易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
　　
　　百級無塵烘箱測控系統及安全保護措施：
　　
　　1、控制儀表：進口數顯溫度控制器，PID調節，控制精度0.1℃；
　　
　　2、溫度測量傳感器：Pt100鉑電阻；
　　
　　3、控制系統：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件；
　　
　　4、超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統，保證試驗品的安全；
　　
　　百級無塵烘箱產品特點
　　
　　●結構材料：內外全部采用SUS304#不銹鋼板制作無塵無污染，耐酸堿腐蝕環保，美觀大方
　　
　　●保溫材料：使用高密度進口巖棉，雙層保溫層，爐門采用高溫硅膠緊迫，保溫、密封性能好。
　　
　　●溫控系統：采用RKC智能型溫控器PID自動演算，配合SSR固態斷電輸出，確?？刂茰囟?。
　　
　　●運風方式：左出風,右邊回風循環;特殊風道設計,爐內溫差均勻性好。
　　
　　●安全裝置：電機過載保護，漏電保護，相序保護，雙重防超溫保護裝置；所有發熱管與爐體外殼隔絕緣保證設備使用安全。
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